반도체 생산이 늘고 공정이 고도화되면서, 반도체 공장에서 쓰는 특수가스와 화학물질도 빠르게 늘고 있다. 화학물질안전원 통계에 따르면 반도체용 화학물질 사용량은 2020년 1225만 톤에서 2024년 1926만 톤으로 4년 새 57% 늘었다. 물질 종류도 845종에서 1293종으로 늘었다. 김 의원은 “쓰는 양이 느는 만큼 사고 위험도 커지고 있다”고 지적했다.
지난 6월 SK하이닉스 청주공장 가스룸에서는 열하루 간격으로 화재가 두 차례 발생해 각각 3600명, 4000명이 대피했다. 9월 고용노동부 점검에서는 반도체 사업장 27곳에서 산업안전보건법 위반 338건이 적발됐고, 이 중 119건이 청주캠퍼스였다.
김종민 의원은 “청주는 다행히 생산 차질까지는 없었지만, 해외에선 화재 한 번에 반도체 공장이 멈췄다”고 언급했다. 실제 2013년 SK하이닉스 중국 우시 공장 화재 때는 복구에 3개월이 걸렸고, 2021년 일본 르네사스 공장 화재는 복구까지 4개월이 지연됐고, 피해액은 약 2500억 원에 달했다.
특히 김종민 의원은 여러 특수가스가 섞일 때의 위험을 짚었다. 김 의원은 “반도체 공정은 여러 특수가스를 함께 쓰는데, 성질이 맞지 않는 가스끼리 특정 조건에서 만나면 화재·폭발 위험이 생긴다”며 “물질 종류가 늘고 EU 규제로 새 가스 개발까지 빨라지면서 섞일 조합은 더 늘고 있다”고 말했다.
문제는 이 위험을 판단할 근거가 없다는 점이다. 김 의원은 “혼합가스 위험성 데이터는 해외 문헌에 의존해 2종 혼합까지만 추정할 수 있다”며 “3종 이상 혼합이나 국내 공정 조건 데이터는 없는 것 아니냐”고 따져 물었다.
김 의원은 “시험할 곳이 없으니 데이터도 없다”며 “일부 기업에 있는 것도 단일가스 시험실이고, 중견·중소 소부장기업은 그마저 여력이 없다”고 꼬집었다.
대안으로 김 의원은 ‘반도체 특수가스 안전 실증센터’ 구축을 제안했다. 혼합가스와 신규 가스의 안전성을 실제 공정 조건에서 미리 실증해 데이터를 쌓고, 그 결과를 검사 기준에 반영하자는 것이다. 김 의원은 “반도체 검사 전담팀까지 두면 클러스터 인허가·검사 지연도 줄일 수 있다”고 설명했다.
김 의원은 “반도체는 화재 한 번에 공장이 몇 달씩 멈추는 산업”이라며 “사고가 난 뒤 점검하는 방식에서 위험을 미리 검증하는 방식으로 바꿔야 한다”고 말했다.
이어 “호남 클러스터의 2030년 양산을 위해서도 안전과 속도를 함께 잡아야 한다”며 “산업부와 협의해 예산과 인력 확보 방안을 마련하라”고 촉구했다.
박경국 가스안전공사 사장도 반도체 산업의 안전성 확보를 위한 사전 검증체계 강화 필요성에 공감을 표했다.
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